講演情報

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[2] ビームライン・測定器

[12P] ビームライン・測定器

2025年1月12日(日) 13:00 〜 15:00 [2] ビームライン・測定器 (企業展示・ポスター会場)

[12P-28] 無酸素Pd/Ti蒸着非蒸発型ゲッター（NEG）の再活性化性能の安定性向上

*狩野悠¹、濵中健一¹、矢部学¹、正岡祐介¹、菊地貴司²、間瀬一彦^2,3 (1. 入江工研株式会社、2. KEK物構研、3. 総研大)

キーワード：真空、真空ポンプ、NEG

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