NEGコーティングをしたBeCu材真空チャンバー

[12P-29] NEGコーティングをしたBeCu材真空チャンバー

*和田薫¹、志賀隆志¹、神谷潤一郎²、諸橋裕子² (1. 東京電子株式会社、2. 日本原子力研究開発機構)

キーワード：BeCu、NEG、真空

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