講演情報

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[2] ビームライン・測定器

[12P] ビームライン・測定器

2025年1月12日(日) 13:00 〜 15:00 [2] ビームライン・測定器 (企業展示・ポスター会場)

[12P-27] 無酸素Pd/Ti蒸着ICF34ゼロレングス非蒸発型ゲッター（NEG）ポンプの開発

西口宏¹、菊地貴司²、*間瀬一彦^2,3 (1. (有)バロックインターナショナル、2. 高エネルギー加速器研究機構、3. 総研大)

キーワード：非蒸発型ゲッター、無酸素Pd/Ti、真空、非蒸発型ゲッターポンプ

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