[12P] ビームライン・測定器

[12P-26] 第1ミラーテストチェンバー内面への無酸素Pd/Ti非蒸発ゲッター蒸着

*間瀬 一彦^1,2、菊地 貴司¹、片岡 竜馬¹、田中 宏和¹、石井 晴乃¹、仁谷 浩明¹、若林 大祐^1,2、大東 琢治^1,2 (1. 高エネルギー加速器研究機構、2. 総合研究大学院大学)

キーワード：放射光、光学素子、炭素汚染防止、無酸素Pd/Ti、非蒸発ゲッター蒸着