講演情報

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[3] XFEL

[12P] XFEL

2025年1月12日(日) 13:00 〜 15:00 [3] XFEL (企業展示・ポスター会場)

[12P-33] 高圧力プラズマエッチングによるセルフシード用マイクロチャネルカット結晶内壁面の高精度化

*小田隆司¹、三宅雅史¹、松村正太郎^1,2、大坂泰斗³、井上伊知郎³、山内和人¹、矢橋牧名^3,4、佐野泰久¹ (1. 大阪大学、2. S-Surface Technologies、3. 理研/SPring-8、4. JASRI/SPring-8)

キーワード：XFEL、高圧力プラズマ、マイクロチャネルカット結晶、セルフシード

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