2020年日本表面真空学会学術講演会

Presentation information

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)

[1Ea2] SP部会

Thu. Nov 19, 2020 10:30 AM - 12:00 PM E会場

座長:清水 徹英・後藤 康仁

10:45 AM - 11:00 AM

[1Ea08] Structure of DC magnetron sputtering discharge with negative plasma potential

○草野英二1) (1)金沢工大高信頼理工学研究センター)