2020年日本表面真空学会学術講演会

Presentation information

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)

[1Ea2] SP部会

Thu. Nov 19, 2020 10:30 AM - 12:00 PM E会場

座長:清水 徹英・後藤 康仁

11:00 AM - 11:15 AM

[1Ea09] Relationship between crystal orientation and substrate position of titanium thin films in rf magnetron sputter depsoition

○後藤康仁1),佐藤嶺1) (1)京大)