PDF Download Schedule 9 Comment (0) [1P66] A study of the growth of thin films by plasma immersion lattice shaped target method ○宗岡絢太1)，徳永浩之1)，本田亘1)，森田知希1)，内藤正路1)，碇智徳2) (1)九工大工，2)宇部高専)
