2020年日本表面真空学会学術講演会

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表面分析・応用表面科学・評価技術(ASS)

[2Da] 表面分析・応用表面科学・評価技術(ASS)

2020年11月20日(金) 09:00 〜 12:15 Ｄ会場

座長：山川 紘一郎・藤田 大介

09:00 〜 09:15

[2Da01] 加速電圧差分法による背面散乱電子エネルギースペクトルの評価

○堤建一1) (1)日本電子(株)SA事業ユニットSA技術開発部2G)