PDF Download Schedule 8 Comment (0) 9:00 AM - 9:30 AM [3Ba01(産業賞)] Development of the arc restraint type HiPIMS power supply to achieve high-performance film formation ○黒岩雅英1)，岡野忠之1)，中谷達行2)，福江絋幸3) (1)東京電子(株)，2)岡山理科大フロンティ理工学研究所，3)岡山理科大院)
