PDF ダウンロード スケジュール 8 コメント (0) 09:00 〜 09:30 [3Ba01(産業賞)] 高機能成膜を実現させるアーク抑制型HiPIMS電源の開発 ○黒岩雅英1)，岡野忠之1)，中谷達行2)，福江絋幸3) (1)東京電子(株)，2)岡山理科大フロンティ理工学研究所，3)岡山理科大院)
