[3Cp] 半導体・磁気・電子・光デバイス材料・電子材料プロセス(EMP・MI・MS)

[3Cp04] 熱フィラメントCVD法によるルテニウムを触媒とした単層カーボンナノチューブの成長

○坂本拓也¹⁾，石川豊¹⁾ (¹⁾日本工業大)