[3Cp] 半導体・磁気・電子・光デバイス材料・電子材料プロセス(EMP・MI・MS)

[3Cp06] Comparison of ferroelectric properties of Hf_0.5Zr_0.5O₂ and HfO₂ thin films

○森田行則¹⁾，太田裕之¹⁾，右田真司¹⁾ (¹⁾産総研)