[3Cp] 半導体・磁気・電子・光デバイス材料・電子材料プロセス(EMP・MI・MS)

[3Cp06] 強誘電体薄膜Hf_0.5Zr_0.5O₂およびHfO₂の強誘電特性の比較

○森田行則¹⁾，太田裕之¹⁾，右田真司¹⁾ (¹⁾産総研)