[1Ap01-15] 表面分析研究部会「最近の表面分析いろいろ」

[1Ap02] 実験室系硬X線光電子分光法の展開

西原　 達平¹、町田 雅武²、安野 聡³、*小椋 厚志^1,4 (1. 明治大学、2. シエンタオミクロン(株)、3. JASR、4. 明治大学再生可能エネルギー研究インスティテュート)

デバイス性能を決定づける埋もれた界面の評価手法として、従来の光電子分光法よりも高いエネルギーのX線を使用した硬X線光電子分光法(HAXPES)が注目されている。特に近年、実験室ベースのLab. HAXPESが開発され広く利用されつつある。励起光源に液体GaKaを使用し、安定した高強度を確保している。本発表では、Lab. HAXPESを用いた実測測定事例今後の展望について述べる。