[1Ep08-13] 真空科学技術

[1Ep10] 標準コンダクタンスエレメントを用いたESD計測の定量化の試み

*宮内 直弥¹、矢ヶ部 太郎¹、北島 正弘¹、吉田 肇²、板倉 明子¹ (1. 国立研究開発法人物質・材料研究機構、2. 産業技術総合研究所)

水素の電子衝撃脱離(ESD)量から，薄板を透過する水素の定量計測を行うため，標準コンダクタンスエレメント(SCE)を用いて，ESDイオン量，四重極型質量分析計(QMS)による水素分子透過量と，水素供給圧力との関係を調べた．QMSやイオンポンプ起因の信号をバックグラウンドとして除去した後，水素供給圧力100〜2000Paの範囲で，水素供給圧力とESDの水素イオン信号との間に，1次の関係性が得られた．