[2Bp02-12] マイクロビームアナリシス技術部会

[2Bp09] マイクロバブル・ナノバブルの SEM 中その場生成

高原 光司¹、*鈴木 哲¹ (1. 兵庫県立大学高度産業科学技術研究所)

汎用SEM中の低倍観察条件での電子照射によりサーフェスマイクロバブル、ナノバブルをその場生成した。本研究で用いた照射線量率は過去のTEM中での生成例に比べ5－7桁小さい。バブルの断面形状は大きさによらず半球型であり、AFMで報告されているパンケーキ型のバブルは見られなかった。バブルの寿命は少なくとも3日であった。