2021年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

部会

[2Bp02-12] マイクロビームアナリシス技術部会

2021年11月4日(木) 13:30 〜 16:30 B会場 (オリーブ)

座長:本間 芳和(東京理科大学)、白木 将(日本工業大学)

15:45 〜 16:00

[2Bp10] ガス導入による準大気圧硬X線光電子分光の帯電解消

竹中 研人1、足立 健太1、高原 光司2、住田 弘祐3、*鈴木 哲2 (1. 兵庫県立大学理学部、2. 兵庫県立大学高度産業科学技術研究所、3. マツダ株式会社)

準大気圧硬X線光電子分光(NAP-HAXPES)装置へのガス導入によってガラス板などの絶縁体試料の帯電をほぼ完全に解消できた。更に、帯電解消に必要なガス圧力が試料とHiPP-2アナライザーのフロントコーン間の距離に強く依存することを明らかにした。