[2Bp02-12] マイクロビームアナリシス技術部会

[2Bp11] クラスターTOF-SIMSの1原子当りエネルギーに依存して変化する質量スペクトルの解析

*水畑 健¹、盛谷 浩右¹、桝本 哲朗¹、中村 知道²、乾 徳夫¹ (1. 兵庫県立大学大学院工学研究科、2. 兵庫県立大学大学院情報科学研究科)

我々は、一次イオンビームのクラスターサイズを選別できるアルゴン（Ar）クラスターTOF-SIMS装置を用いて、ニトロベンジルピリジニウム塩（NBP）のSIMSスペクトルのE/n依存性を測定した。E/nに依存したフラグメントイオン強度の変化は、解離反応経路の違いに由来すると考えられる。 我々は、E/n依存曲線の類似性を相関係数に基づいて整理・分類する手法についても検討した。