[2Ep01-04] 真空科学技術

[2Ep01] ビルドアップによるVacuum firingの効果の検証

*神谷 潤一郎¹、高野 一弘¹、和田 薫² (1. 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構、2. 東京電子株式会社)

これまでVacuum firingによる材料中水素濃度の低減が示されているが、放出ガス速度は通常のベーキングのみをした場合と比較して明らかに低いという報告はない。今回vacuum firing実施、未実施の真空容器について、ビルドアップ試験により放出ガス特性に有意な差がでることがわかったので報告する。