[2Ep01-04] 真空科学技術

[2Ep03] 低ガス放出な表面処理したアルミニウム合金の表面分析

小川 直樹^2,1、*栗巣 普揮²、山本 節夫² (1. ローツェ(株)、2. 山口大学院創成科学研究科)

アルミニウム合金（A5052）の低ガス放出となる実用的な表面処理として工程を最適化した機械研削を開発してきた。通常の機械研削MG，工程を最適化した機械研削OMG，さらに化学研磨と組み合わせたMG+CP，OMG+CP，4種類の試料において，低ガス放出特性の起源について調査することを目的として，表面形態と深さ方向分析を，原子間力顕微鏡（AFM）および走査型X線光電子分光装置（XPS）によって行った。