[3Ba01-12] スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会「スパッタ・プラズマで切り拓くナノ構造の世界」

[3Ba10] イオンビームアシスト成膜法によるLiCoO₂薄膜の低温成長

*川山 巌¹、太田 和希¹、片岡 理樹²、前田 泰²、土井 俊哉¹ (1. 京都大学大学院エネルギー科学研究科、2. 産業技術総合研究所)

イオンビームアシストPLD(IBAPLD)法を用い、代表的なLiイオン電池の正極材料であるLiCoO₂ (LCO)薄膜作製し、結晶構造および電池正極としての特性を評価した。その結果、Alおよび石英ガラス基板上において、IBAPLD法で作製したLCO薄膜は室温で結晶化し、かつLiイオン電池の正極活物質として機能することを確認した。