2021年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

ポスターセッション(コアタイム)

[3P01-27] ポスター・企業展示

2021年11月5日(金) 13:30 〜 15:30 P会場 (P会場)

座長
13:30-14:30 一ノ倉聖(東工大)
14:30-15:30 土師将裕(東大)

[3P11] 2次イオン質量分析によるBaTiO3中の添加Mnの価数計測

*吉田 茂樹1、薮田 久人1 (1. キヤノン株式会社)

酸化物中のMn価数は通常の価数計測方法(X線光電子分光、蛍光X線分析など)では容易には計測できない。Mnが非主成分である場合さらに計測が困難になることは想像に難くない。本発表ではBaTiO3中の1atomic%以下のMnの価数を、2つの標準試料LaMn3+O3、SrMn4+O3を用い、2次イオン質量分析によって得た複数のMnOx質量スペクトルから成るパターンから計測した結果を報告する。