[3P01-27] ポスター・企業展示

[3P25] 0.2パーセントBe-Cu材の放出ガス特性

*和田 薫¹、神谷 潤一郎²、倉持 勝也³ (1. 東京電子株式会社、2. 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構、3. 株式会社トータルサポートシステム)

0.2%Be-Cu材は、高熱伝導率、低熱輻射、低ガス放出量などの特性により、極高真空計、高性能質量分析計や超高真空材料として使用されている。ビルドアップ法によるBeCuの放出ガス量の測定¹⁾がされており、非常に少ないことが分かっている。一般的な真空チャンバーのベーキング方法による放出ガス速度を測定し、BeCuとSUS304の特性比較を行った。