入江工研は１９６６年の創業以来、金属ベローズとその応用製品の製造を主体に、堅実に成長して参りました。現在では、主に半導体市場、FPD市場に金属ベローズ、真空バルブ、チャンバー、真空導入機やその他真空機器をご提供しております。自社設計から製造、販売まで一貫したモノづくりを行っており、お客様に高い信頼をいただいております。 超高真空のようにクリーンな環境でのご使用から、反応性ガス、薬品等に曝される厳しい環境でもご使用いただける製品をご提供しております。

【出展みどころ】
ドライポンプ、ターボ分子ポンプと組み合わせて真空排気・ベーキングを行うことで10⁻⁸Pa台以下の超高真空を実現する排気ポンプ『NEGLAZE』を開発し展示致します。本製品は、150℃のベーキングによって排気を開始します。継続的な加熱処理を必要とせず活性化できます。