2023年日本表面真空学会学術講演会

出展者情報

東京電子株式会社

東京電子株式会社

東京電子は「極高真空を造る・極高真空で計る」会社です。低ガス放出の0.2%BeCuテクノロジーをベースとして、高精度質量ガス分析計、極高真空ゲージ、低ガス放出0.2%BeCuチャンバー・配管類、NEGポンプなどのXHV(極高真空)コンポーネント、また、電子デバイスを破壊/非破壊検査をする高感度質量ガス分析装置を展開しております。ブースではXHV製品、その他コンビネーションゲージ等をご紹介します。
 
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