[D02-20p-V] 表面改質

[D02-20p-V-09] 【論文発表賞応募演題】
塗布膜を用いたレーザードーピング法によるp型及びn型poly-Si TFTの製作

○倉重 貴行¹、妹川 要^1,2、諏訪 輝¹、中村 大輔¹、佐道 泰造¹、後藤 哲也³、池上 浩^1,2 (1. 九大、2. 九大ギガフォトン共同部門、3. 東北大未来研)