The 40th Annual Meeting of The Laser Society of Japan

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口頭講演

D: Laser processing

[D06-21p-V] 微細加工

Tue. Jan 21, 2020 3:00 PM - 5:30 PM meeting room 4-1 (exhibition wing)

座長:寺川 光洋(慶應義塾大学理工学部電子工学科)、宇野 和行(山梨大学)

4:45 PM - 5:00 PM

[D06-21p-V-06] フェムト秒レーザー誘起表面周期構造形成によるジルコニアセラミックスの表面応力変化

○Masayuki Kakehata1, Hidehiko Yashiro1, Ayako Oyane2, Atsuo Ito3 (1. ESPRIT, AIST, 2. NMRI, AIST, 3. HRI, AIST)

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