一般社団法人レーザー学会学術講演会第41回年次大会

講演情報

口頭講演

D: レーザープロセシング

[D05-20a-IV] 材料プロセシング

2021年1月20日(水) 09:15 〜 10:30 IV

座長:花田 修賢(弘前大学)

10:15 〜 10:30

[D05-20a-IV-05] KrFエキシマレーザーを用いたSiCレーザードーピング後の表面状態パルス幅依存性の解明

*菊地 俊文1、中村 大輔1、池上 浩1 (1. 九州大学)

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