[5] MEMS、医療センサ

[5-22] マイクロソフトポンプに向けた電極作製法の検証

速報論文

^○坂口諒, 菅哲朗, 新竹純 (電気通信大学)

キーワード：マイクロポンプ、マイクロファブリケーション、ソフトロボティクス、伸縮性エレクトロニクス、銀フレーク