[5] MEMS、医療センサ

[5-22] Validation of electrode fabrication methods for micro soft pumps

速報論文

^○Ryo SAKAGUCHI, Tetsuo KAN, Jun SHINTAKE (電気通信大学)

Keywords:マイクロポンプ、マイクロファブリケーション、ソフトロボティクス、伸縮性エレクトロニクス、銀フレーク