[6] 有機／無機（接合）１

[6-25] C-H-Si 膜を介した銅/樹脂接合体の接合強度に及ぼす膜形成状態の影響

一般講演

^○山田由香, 福本信次, 藤本公三 (大阪大学大学院工学研究科)

キーワード：アモルファス薄膜、接合、モールド樹脂、表面粗さ、酸化