オペランド計測の最先端

[1604] 放射光を用いた最先端分析計測

^○宇留賀朋哉 (高輝度光科学研究センター)

司会: 雨澤浩史(東北大学)

キーワード：放射光、X線、オペランド計測、構造解析、化学状態解析

放射光実験施設では、赤外線からX線までの幅広いエネルギー領域（波長領域）に渡り、高い輝度の光を用いた様々な分析計測が可能である。主な放射光分析手法としては、X線回折法、X線吸収・発光分光法、蛍光X線分析法、X線光電子分光法、小角X線散乱法、X線イメージング法などがある。放射光分析の強みは、X線の高い透過性能を利用して測定対象を非破壊で計測できる点、X線エネルギーが可変であるため試料内の特定の元素を選別し分析できる点、ラボ装置に比べ強度・ 輝度が極めて高いX線を利用できるため短時間で高精度・高分解能計測や時間分解計測ができる点、マイクロ/ナノ集光ビームを用いた顕微計測が行える点などが挙げられる。このような特徴により、放射光分析計測は、材料・素材、デバイ ス、環境物質など非常に幅広い研究開発分野で利用されており、産業応用利用も盛んに行われている。近年は、機能発現状態や反応状態にある試料に対して、非破壊その場観察を行うオペランド計測が広く実施されている。本講演では、様々な放射光分析法の概要と、それらを利用した先端計測事例について、オペランド計測を中心に紹介を行う予定である。