プロセス・素材分野ショート講演1

[2K0501-14-11] 水溶液電解法による人工超格子型Co/Cu多層ナノワイヤー配列構造体の創製(発表者：修士課程)

○上村 姫代¹、林田 将充¹、大貝 猛¹ (1. 長崎大学)

キーワード：巨大磁気抵抗効果、陽極酸化アルミナテンプレート、電析ナノワイヤー

非磁性層と強磁性層の層厚をそれぞれナノレベルで交互に積層した金属多層ナノワイヤー配列素子は、積層界面に対して垂直に通電した状態で大きな磁気抵抗変化(界面垂直通電型巨大磁気抵抗効果(CPP-GMR))を発現することが知られている。電析法により金属多層ナノワイヤーを作製する場合、逆電界剥離法を利用したエッジ狭窄型陽極酸化アルミナテンプレートが使用されてきた。しかし、細孔内のエッジ狭窄部における金属イオンの拡散律速により、理想的な多層構造を再現性良く作製することが困難であった。そこで本研究では、イオンの拡散性をより高めるためにアノード剥離法及びリン酸エッチング処理を利用してスルーホール型テンプレートを開発した。更に、得られたナノ細孔を利用して電位制御型パルス電解法により、Co/Cu多層ナノワイヤー配列素子を作製し、CPP-GMR効果を向上させることを目的とした。
　作製したCo/Cu多層ナノワイヤー配列素子は積層構造を有しており、X線解析よりCoとCuは合金化せずに各層として存在していた。また、10~20％程度のCPP-GMR効果が発現し、GMR効果と積層構造の関係が明らかとなった。