Materials Research Meeting 2021

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Poster Session

H. Innovative Materials Processing for Sustainable Society » [H-2] Plasma-Based Synthesis, Processing and Characterization of Materials for Energy and Environment

[H2-PR18] Slot 18

2021年12月16日(木) 18:30 〜 20:30 H2-PR18 (G403-404)

18:30 〜 20:30

[H2-PR18-20] Analysis of Amorphous carbon film deposition process with FTIR

*Tatsuo Nakai1, Atsuya Kuwada1, Ryo Sasamoto1, Masanori Shinohara1 (1. Fukuoka University (Japan))

キーワード：Amorphous carbon film, Acetylene, FTIR, in-situ and real-time measurement,

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