Materials Research Meeting 2021

講演情報

Oral Session

H. Innovative Materials Processing for Sustainable Society » [H-4] Smart Laser Processing for Green Technologies

[H4-O7] Slot 07

2021年12月15日(水) 14:30 〜 18:00 Room S (G320)

Chair: Nilesh J. Vasa (Indian Institute of Technology Madras), Siti Rahmah Aid (Universiti Teknologi Malaysia)

16:20 〜 16:40

[H4-O7-06] Estimation of the device characteristics of low temperature polycrystalline silicon thin film transistors through deep learning

*Takayuki Kurashige1, Takahiro nagano1, Keita Katayama1, Akira Mizutani2, Daisuke Nakamura1, Tetsuya Goto3, Hiroshi Ikenoue1,2 (1. Kyushu Univ. (Japan), 2. Department of Gigaphoton Next GLP, Kyushu Univ. (Japan), 3. New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku Univ. (Japan))

キーワード:Low-temperature poly-Si, Thin-film transistor, Excimer laser annealing, Deep learning

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