[A5-P501-08] Atomistic study of TaNx-Cu Interfaces using Neural Network Interatomic Potentials
キーワード:Interface energy, Interconnect system, Neural network potential, Computational study, DFT
要旨・抄録、PDFの閲覧には参加者用アカウントでのログインが必要です。参加者ログイン後に閲覧・ダウンロードできます。
» 参加者用ログイン