Deposition of zinc oxide film using high-power pulsed magnetron sputtering

講演情報

Oral Session

D. Electronic » [D-1] Synthesis, Processing and Characterization of Nanoscale and Functional Oxide Films -7th E-MRS & MRS-J Bilateral Symposium

[D1-O402] Oral 402

2023年12月14日(木) 14:00 〜 16:15 Session 11 (Room B-2)

Chair: Tetsuya Yamamoto (Kochi University of Technology), Toshihiko Maemoto (Osaka Institute of Technology)

15:00 〜 15:15

*Takayuki Ohta¹, Katsunori Nagahashi¹ (1. Meijo Univ. (Japan))

キーワード：zinc oxide, high-power pulsed magnetron sputtering, low temperature deposition

要旨・抄録、PDFの閲覧には参加者用アカウントでのログインが必要です。参加者ログイン後に閲覧・ダウンロードできます。
» 参加者用ログイン