MRM2023/IUMRS-ICA2023

講演情報

Poster Session

G. Process » [G-1] Advanced Plasma Processing in the New Era

[G1-P501] Poster 501

2023年12月15日(金) 10:00 〜 12:00 Poster (Annex)

[G1-P501-05] Microstructure and Magnetic Properties of FeCoNiCuxPtx High Entropy Alloy Films

*Boya Li1, Weikai Luo1, Takashi Harumoto1 (1. Tokyo Inst. of Tech. (Japan))

キーワード:Magnetron sputtering, Magnetic thin films, Heat treatment, Multilayer film , DFT calculation

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