MRM2023/IUMRS-ICA2023

講演情報

Poster Session

G. Process » [G-1] Advanced Plasma Processing in the New Era

[G1-P501] Poster 501

2023年12月15日(金) 10:00 〜 12:00 Poster (Annex)

[G1-P501-08] Degradation of dielectric film by low-temperature plasma exposure investigated using in-situ impedance spectroscopy method

*Keiichiro Urabe1, Junki Morozumi1, Koji Eriguchi1 (1. Kyoto Univ. (Japan))

キーワード:Plasma-material interaction, Impedance spectroscopy, Dielectric film property

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