[23Dp] セッション19 非中性・成膜

[23Dp-03] イオンプラズマの生成過程における巨視的不安定性とイオン漏出に関する研究

*赤池 聖公¹、比村 治彦¹、古川 耕佑¹、山田 祥平¹、加藤 敏樹¹、岡田 成文²、政宗 貞男¹ (1. 京都工芸繊維大学大学院　工芸科学研究科　電子システム工学専攻　プラズマ基礎工学研究室、2. 大阪大学)