Plasma Conference 2017

講演情報

口頭発表

[24Da] セッション24 非中性・成膜

2017年11月24日(金) 09:00 〜 11:30 D会場 (5F 503)

座長:比村 治彦(京都工繊大)

09:50 〜 10:10

[24Da-02] ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタを用いて成膜したダイヤモンドライクカーボン膜の摩擦特性

*石川 敦士1、太田 貴之1、小田 昭紀2、上坂 裕之3 (1. 名城大理工、2. 千葉工大、3. 岐阜大工)

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