講演情報

口頭発表

[24Da] セッション24 非中性・成膜

2017年11月24日(金) 09:00 〜 11:30 D会場 (5F 503)

座長:比村治彦(京都工繊大)

09:30 〜 09:50

[24Da-03] 質量分析法を用いたハイパワーインパルスマグネトロンカーボンスパッタリングの診断

*伊賀一憲¹、太田貴之¹、小田昭紀²、上坂裕之³ (1. 名城大理工、2. 千葉工大、3. 岐阜大工)

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