Effect of Si Separator in Forksheet FETs on Device Characteristics Investigated by Using In-House TCAD Process Emulator and Device Simulator

講演情報

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2023年9月28日(木) 15:00 〜 16:30 Meeting Room1

Chair: Shunsuke Koba (Kobe City Col. Tech.), Hideki Minari (Sony Semiconductor Solutions)

*In Ki Kim¹, Seung-Cheol Han¹, Geonho Park¹, Geon-Tae Jang¹, Sung-Min Hong¹ (1. Gwangju Institute of Science and Technology)

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