SISPAD2023

講演情報

Poster

[P] Poster Session

2023年9月28日(木) 15:00 〜 16:30 Meeting Room1

Chair: Shunsuke Koba (Kobe City Col. Tech.), Hideki Minari (Sony Semiconductor Solutions)

[P-14] Cryogenic Electron Mobility and Subthreshold Slope of Oxygen-Inserted (OI) Si Channel nMOSFETs

*Hiu Yung Wong1, Hideki Takeuchi2, Robert J. Mears2 (1. San Jose State University, 2. Atomera, Inc.)

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