[P-14] Cryogenic Electron Mobility and Subthreshold Slope of Oxygen-Inserted (OI) Si Channel nMOSFETs
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2023年9月28日(木) 15:00 〜 16:30 Meeting Room1
Chair: Shunsuke Koba (Kobe City Col. Tech.), Hideki Minari (Sony Semiconductor Solutions)
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