[C-10] 電子デバイス

[C-10-3] Fabrication of NiO/Ga₂O₃ Ultraviolet Photoconversion Film and Evaluation of Imaging Operation for Transparent Image Sensor

^○後藤正英, 為村成亨, 宮本裕司 (NHK)

Keywords:イメージセンサ、光電変換膜、紫外光、NiO、透明

様々な波長の情報を取得可能なイメージセンサの実現を目指して、光電変換膜積層型CMOSイメージセンサの研究を進めている。今回、紫外域のみに感度を有する材料としてNiO/Ga₂O₃の開発に取り組み、セル構造およびイメージセンサを試作した。その結果、素子構造の最適化によって暗電流を抑制できることやイメージセンサの撮像動作が得られることを初めて確認し、将来の透明イメージセンサ等の応用に見通しを得たので報告する。