[C-3/4] 光エレクトロニクス/レーザ・量子エレクトロニクス

[C-3/4-68] Accurate object profiling by FMCW optical ranging system with pre-distorted modulation signal

^○飯山宏一, 長坂揺月, 樋口明日香 (金沢大)

Keywords:FMCW、光周波数掃引、物体形状計測

FMCW光距離センサにおいては，光周波数掃引の非線形性の影響を除去するためにkサンプリング法が利用される。しかし，高速化のために光周波数の掃引速度を大きくすると，kサンプリング法が不安定になり測定精度が劣化する。そこで，本研究では，光周波数掃引のための変調波形を補正して光周波数掃引の線形性を向上させ，さらにkサンプリング法を併用することで，高速測定時における測定精度を向上させた。このシステムを物体形状計測に応用し，170kHzの変調周波数においても100円硬貨の高精度な形状計測に成功した。測定時間は1.45秒であった。