[F-2-1] Sub-50 nm Local Channel MOSFETs by SALVO Process

C.-P. Chang, S. N. Rogers, H.-H. Vuong, M. R. Baker, C. S. Pai, F. P. Klemens, W. W. Tai, M. Bude, J. F. Miner, E. J. Lloyd, M. Frei, D. P. Monroe, W. M. Mansfield, T. W. Sorsch, A. Kornblit, J. T-C. Lee, C. S. Rafferty (1.Agere Systems)

https://doi.org/10.7567/SSDM.2001.F-2-1