[F-2-1] Sub-50 nm Local Channel MOSFETs by SALVO Process

C.-P. Chang、S. N. Rogers、H.-H. Vuong、M. R. Baker、C. S. Pai、F. P. Klemens、W. W. Tai、M. Bude、J. F. Miner、E. J. Lloyd、M. Frei、D. P. Monroe、W. M. Mansfield、T. W. Sorsch、A. Kornblit、J. T-C. Lee、C. S. Rafferty (1.Agere Systems)

https://doi.org/10.7567/SSDM.2001.F-2-1