The Japan Society of Applied Physics

[J-6-4] New Charge Pumping Method for Extraction of Nitride Trap Energy Distribution in SONOS Flash Memory

W. H. Choi1, S. S. Park1, I. S. Han1, H. M. Kwon1, O. S. Yoo1, M. K. Na1, K. I. Choi1, D. H. Nam1, J. C. Om2, S. S. Lee2, H. S. Joo2, H. D. Lee1, G. W. Lee1 (1.Chungnam National Univ., 2.Hynix Semiconductor Inc., Korea)

https://doi.org/10.7567/SSDM.2008.J-6-4